При оценке герметичности объекта выбор метода тестирования имеет решающее значение. Обычно процесс тестирования делится на два этапа: общая оценка герметичности и локализация и устранение утечек. Сначала проводится оценка общей герметичности тестируемого объекта. При необходимости, второй этап включает в себя локализацию утечек, чтобы определить конкретные области, где происходит утечка. После устранения выявленных утечек, первоначальный этап тестирования повторяется для подтверждения уровня герметичности корпуса.
Для достижения наилучших результатов рекомендуется, чтобы все потоки газа проходили через детектор утечек в процессе тестирования. Поэтому рекомендуется, чтобы отклонение тестового газа не превышало допустимого рабочего расхода детектора утечек, вспомогательные откачивающие устройства должны быть отключены, и все потоки газа должны проходить через детектор утечек.
1.Метод с использованием гелиевой камеры и крышки: Используется гелиевая камера и крышка для проведения тестирования.
2.Метод вакуумной камеры (камеры давления): Тестирование проводится в вакуумной среде.
3.Метод вакуумного колпачка: Используется вакуумный колпачок для локального тестирования.
4.Метод накопления газа в камере: Тестовый газ накапливается в герметичной камере.
5.Метод с использованием зонда: Используется зонд для обнаружения утечек.
Если общий поток газа не превышает максимально допустимого расхода газогенератора, вспомогательный насос должен быть выключен сразу после достижения предварительного вакуума (0,1...1 Па). Если общий поток газа превышает допустимый расход, для тестирования используется механический насос с непрерывной работой.
Эта схема подходит для тестирования объектов с высоким газовыделением или высоким объемом утечек, когда необходимо максимизировать впускной поток детектора утечек и минимизировать время установления сигнала. Использование высоковакуумного насоса (например, парового насоса) для вспомогательной откачки позволяет достичь более низкого общего давления в камере масс-спектрометра, не превышающего максимального рабочего давления детектора утечек. Это позволяет проводить тестирование при полностью открытом впускном клапане детектора утечек.
Этот метод используется для обнаружения утечек в наполненных газом объектах. Зонд — это устройство с электропроводностью, обеспечивающее расход 2•10⁻³...5•10⁻³ м³•Па/с. Зонд перемещается вдоль поверхности тестируемого объекта, заполненного гелием, для обнаружения утечек.
Этот метод используется для тестирования тепловых характеристик контрольных пустот, отверстий и наполненных газом объектов и их компонентов. Вакуумный колпачок устанавливается на поверхность, подлежащую тестированию, и гелий подается с другой стороны.
Эта технология используется для тестирования небольших изделий в циклах высокопроизводительного тестирования. В последнее время для реализации контроля с помощью масс-спектрометра все чаще используются турбомолекулярные насосы. Эти насосы имеют следующие преимущества: короткое время подготовки к тестированию (3...5 минут), отсутствие необходимости в жидком азоте, отсутствие углеводородных паров в спектре остаточных газов, защита камеры масс-спектрометра от проникновения воздуха и гораздо более низкая степень сжатия для легких газов по сравнению с тяжелыми газами.